寫實色彩的3D搭載  VertScan®3.0 R4300C

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㈱菱化系統

非接觸表面・層斷面形状計測系統 VertScan®

■高垂直解析度:Sq解析度 0.01nm(Phase 樣式
■高精度:標準段差再現性<0.1% (88nm段差測定時)
■層断面計測:光学長 > 1.5μm 的厚度、解析度0.1μm

■高垂直解析度:Sq解析度 0.01nm (Phase 樣式)
■高精度:標準段差再現性 σ< 0.1% (88nm段差測定時)
■層断面計測:光学長 > 1.5μm 的厚度 、解析度0.1μm

■高垂直解析度:Sq解析度 0.01nm(Phase 樣式)
■高精度:標準段差再現性 σ< 0.1% (88nm段差測定時)
■層断面計測:光学長> 1.5μm 的厚度 、解析度0.1μm

■「Color Fringe Scan」:二高速干渉物鏡取得彩色畫像
■統合「顏色觀察」「計測」「解析」
■「3波長LED」:S/N比的高度色彩畫像