MEMS 3軸加速度感應器校正・検査装置 Micro Electro Mechanical Systems INDEX： ■MEMS（3軸加速度感應器）校正・検査装置 ・系統類型 ■MEMS用検査装置 ・MEMS 3軸加速度感應器量産用校正・検査装置基本機型 ・IC封裝 探針元件 ・對應角速度感應器 ・請與我們連絡！ ＭＥＭＳ感應器代工検査業務的介紹 「MEMS加速度感應器検査装置」は、 経済産業省平成18年度中小企業・創業挑戦支援事業的實用化研究開発事業補助金的對象事業。 「MEMS加速度感應器検査装置」は、 平成18年度東京都中小企業振興公社的可能性評價制度選擇為推薦事業。 MEMS加速度感應器検査装置 ■ 實現XYZ3軸共0～360°任意控制的検査。 ・2軸：0～360°旋轉的簡易型 ・3軸：0～360°任意旋轉型 ■ 實現於-40℃～+85℃的自動検査。 ■ 提供感應器裝置形狀對應插槽或是探針元件。 ■ 選配：SECS/GEM通信介面 檢測頭以及檢測內容根據客戶的需求建構系統 ▼ 系統類型 機構 簡易型 360℃任意旋轉型 旋轉軸 1軸 0～360℃旋轉的簡易型 控制概念圖 2軸 0～360℃任意旋轉型 控制概念圖 檢測頭的拆裝 手動 手動 手動 自動 加熱槽 無 附 附 （無預冷預熱部） 付き （有預冷預熱部） 資料傳送 有線式 有線式 無線式or有線式 無線式or有線式 姿勢精度 ±1.0度 ※可指定 ±1.0度 ※可指定 ±0.5度 ※可指定 ±0.5度 ※可指定 測試温度 室温 -40℃～+85℃ -40℃～+85℃ -40℃～+85℃ 測試内容・項目 依據指定 依據指定 依據指定 依據指定 装置例 右45度旋轉 左45度旋轉 回到上方 下一頁
