MEMS 3軸加速度感應器校正・検査装置



Micro Electro Mechanical Systems


INDEX:
  ■MEMS(3軸加速度感應器)校正・検査装置
      ・系統類型
  ■MEMS用検査装置
      ・MEMS 3軸加速度感應器量産用校正・検査装置基本機型
      ・IC封裝 探針元件
      ・對應角速度感應器
      ・請與我們連絡!
MEMS感應器代工検査業務的介紹

「MEMS加速度感應器検査装置」は、

経済産業省平成18年度中小企業・創業挑戦支援事業的實用化研究開発事業補助金的對象事業。
「MEMS加速度感應器検査装置」は、

平成18年度東京都中小企業振興公社的可能性評價制度選擇為推薦事業。                
 MEMS加速度感應器検査装置
實現XYZ3軸共0~360°任意控制的検査。

 ・2軸:0~360°旋轉的簡易型 

 ・3軸:0~360°任意旋轉型
實現於-40℃~+85℃的自動検査。
提供感應器裝置形狀對應插槽或是探針元件。
選配:SECS/GEM通信介面

檢測頭以及檢測內容根據客戶的需求建構系統
 
 
  ▼ 系統類型

機構 簡易型 360℃任意旋轉型
旋轉軸
1軸

0~360℃旋轉的簡易型 控制概念圖
2軸

0~360℃任意旋轉型 控制概念圖
檢測頭的拆裝 手動 手動 手動 自動
加熱槽

(無預冷預熱部)
付き

(有預冷預熱部)
資料傳送 有線式 有線式 無線式or有線式 無線式or有線式
姿勢精度 ±1.0度

※可指定
±1.0度

※可指定
±0.5度

※可指定
±0.5度

※可指定
測試温度 室温 -40℃~+85℃ -40℃~+85℃ -40℃~+85℃
測試内容・項目 依據指定 依據指定 依據指定 依據指定
装置例
右45度旋轉 左45度旋轉
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