WF-R60形 共焦點Telecomparator INDEX： 高速・高精度的寬・高度測量裝置 1） WF-R60形共焦點Telecomparator装置外観 2） 測量原理（焦點位置的影像） 3） 裝置特徵 （1.共焦點方式 2.高速攝影機 3.高速影像處理卡 4.高精度Z軸機構 5.自動調光功能 6.寬・高度測量演算法的開發） 4) 測量畫面（選單畫面・測量畫面・結果顯示畫面） WF-R60型 共焦點Telecomparator 非接觸・非破壞檢查的最新技術集合，高速・高精度的寬・高度測量裝置 ■測量精度 ・高度：3σ=20nm ・線寬測量：3σ=10nm （使用100×物鏡、標準試料） ■測量速度 1s／1視野 （Z軸範圍：2μm、Frame取得解析度：16.6nm） ■測量視野 ・5倍：760×720μm ・10倍：380×360μm ・20倍：190×180μm ・50倍：76×72μm ・100倍：38×36μm ■各焦點位置的影像 將Ｚ軸由Ａ⇒Ｅ移動時，各焦點位置的影像如左圖所示。焦點對準鉻表面的Ｂ位置時鉻表面最亮。光阻表面亦同，在焦點位於Ｄ時最亮。亮度根據各表面的反射律不同有所變化。 最後可取得所有畫素的亮度最高值更新後的全焦點影像(上圖)與各畫素所對應的焦點位置資料。 1 共焦點方式（共焦點掃瞄器） 2 高速攝影機 3 高速數位會面處理卡 4 高精度Z軸機構（微動Z軸） 5 自動調光功能（金屬燈泡光源光源） 6 寬・高度測量演算法的開發（控制用電腦） ■ 1 共焦點方式 使用附有微鏡片的共焦點元件，可取得比過去的共焦點方式裝置要更亮的影像，即使在高倍率之下亦可確保足夠的亮度進行測量 由横河電気株式会社CSU10目錄節錄 ■ 2 高速攝影機 高速影格速率CCD攝影機（120fps）與高速影像處理卡的組合，實現高速測量處理。 影像處理卡可高速處理測量用的亮度資料與Ｚ軸資料。 CCD尺寸： 1/3型 顯示畫素數： 656×492 影格速率： 120影格/秒 影像訊號： Camera Link ■ 3 高速影像處理卡 插槽： PCI Express ×4 對應OS： Windows XP 亮度・Z軸處理： 120影格/秒 以上 自動調光： ND濾鏡、IO、步進馬達 自動對焦： 影像AF ■ 4 高精度Ｚ軸機構 由真直度精度高，具高解析度的Ｚ軸驅動，實現高精度的穩定測量。 行程： 400um 真直度： 0.01um 移動解析度： 8nm 測量解析度： 1nm 移動速度： 100um/sec 高度調整粗動Ｚ： 選配 ■ 5 自動調光功能 採用440nm（g線）或550nm（e線）<可選擇>，以自動調光實現更穩定的測量 光源調光與攝影機Gain併用進行自動調光 ■ 6 寬・高度測量演算法的開發 根據新測量演算法的開發，水平・垂直線寬與高度測量一併測量 ・高度測量 3σ = 20nm ・線寬測量 3σ = 10nm 回上方 選單畫面 測量畫面 結果顯示畫面
