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廣受好評的NH系列再升級，實現Z解析度0.001μm，XY解析度0.02μm的超高精度。
以非接觸，不受試料的顏色或反射率，角度等等的表面狀態影響進行測量，滿足廣範圍的測量區域與次微米的測量精度的3次元測量裝置。
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| 特徵 |
| 以高精度高度測量超越多數機種的NH-3SP的主要特徵 |
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絕對精度=±0.3μm |
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不依靠反射率 |
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完全非破壞測量(非接觸) |
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廣測量範圍 |
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自動測量 |
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等等。前段工程的素子高度測量，HDD相關，非球面鏡片測量，以及其他各式各樣的用途開拓新的可能性。
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| 規格・測量功能 |
| ■ 仕様 |
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| 高度最小解析度 |
0.001μm |
| 高度絕對精度 |
±0.3μm/10mm |
| 高度重現性 |
σ=0.01μm以内 |
| 高度測量範圍 |
10mm(～100mm) |
| XY最小解析度 |
0.02μm
XY絕對精度=±(1.5+4L/1000)μm
XY測量範圍=150×150mm～ |
| 控制軟體OS |
WindowsNT4.0 |
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■ 測量功能
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三次元形狀測量・斷面形狀測量・粗度測量・自動測量・各種測量功能 |
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| 測量範圍 |
(X,Y,Z) =150X150X10mm
選配Z=110mm |
| 測量解析度 |
(X,Y,Z) =0.01X0.01X0.001μm |
| 測量應用例 |
□非球面鏡片測量，形狀評估
□模具測量，粗度測量
□微鏡片測量，間距測量
□液晶導光板的形狀，間距
□晶圓Pattern的尺寸測量
□表面刮傷，缺陷測量
□MEMS相關
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系列最高峰的Z解析度=1nm！
三鷹光器(株)／(株)菱光社
由加工至成像性能的綜合評估裝置
