MEMS 感應器用検査装置 Micro Electro Mechanical Systems ▼ MEMS 3軸加速度感應器量産用校正・検査装置基本機型 MEMS 基本型 ■ 產速：目標為MAX 1,200裝置/h的量産用機形 ■ 試験温度範圍：可在低温（-40℃、-30℃、-20℃など）到高温（+85℃）間的任意温度検査 ■ 検査姿勢控制：3軸 0～360度任意位置 （但僅限於無線資料傳送方式） ■ 綜合姿勢精度：±1.0度 ■ 装備進出料的自己完結型（self-system） ■ 可混合不同批產品測試 流程：進料 → 常温槽ー → 低温槽 → 高温槽 → 出料 ▼ IC插槽・探針元件 可配合客戶的裝置封裝製作 ▼ 對應加速度感應器 以θ2的等速度旋轉 頻率數回應性測量用機構對應 ▼ 請與我們連絡！！ 對應MEMS壓力感應器、地磁感應器等等的要求實現檢查系統 提供的要素技術 ■ 各種恆温槽 ■ 特殊插槽 ■ 姿勢控制装置 ■ 無線資料傳送 ■ 進出料・自動搬送装置 ■ 數位・類比測試系統 ■ 探針測頭 回到上方 回到前一頁
