㈱菱化系統
非接觸表面・層斷面形状計測系統
VertScan®2.0 R3300G Lite
以垂直解析度、精度、計測速度而言
是最好的非接觸表面形状計測。
以非破壞方法做透明積層體的層断面計測。■高垂直解析度：Sq解析度 0.01nm（Phase 樣式
是最好的非接觸表面形状計測。
以非破壞方法做透明積層體的層断面計測。
■高垂直解析度：Sq解析度 0.01nm（Phase 樣式
■高精度：標準段差再現性 < 0.1% (88nm段差測定時）
■層断面計測：光学長 > 1.5μm 的厚度、解析度0.1μm
半導体、MEMS、其他電子分野
表面加工技術・材料關係
| 裝置名 | 非接触表面・層断面形状計測システム VertScan®2.0 R3300G Lite |
|---|---|
| 接觸式／非接觸式 | 非接触 |
| 方式 | 光干渉方式 |
| 内部鏡頭 | 0.5x 、 1.0x |
| 物鏡 | 5x 、10x 、20x 、 50x、110x（二光束干渉物鏡規格 ） |
| 測定用CCD相機 | 1/3" 、 1/2" |
| 視野 CCD1/3“ 1.0X鏡頭 | 對物5×(947 X 710μm） ～50×（94 X 71μm） |
| 視野 CCD1/2“ 0.5X鏡頭 | 對物5×(2508 X 1881μm）～50×（250 X 188μm） |
| 測定畫像數 | 最大 640 X 480 |
| Ｚ測定範圍(壓電粒子） | 80μm |
| Sq分解能 | 0.01nm(Phase樣式）、0.10nm(Wave樣式） 5.00nm(Focus式樣） |
| 標準金屬板尺寸 | 205×174mm |
| ＸＹ電動載台 | 50×50mm（選購） |
| 校正距離基準 | VLSI社製標準段差 |