WF-R60形　共焦點Telecomparator

INDEX：　高速・高精度的寬・高度測量裝置

　　2）　測量原理（焦點位置的影像）

　　3）　裝置特徵
　　　（1.共焦點方式　2.高速攝影機　3.高速影像處理卡
　　　　 4.高精度Z軸機構　5.自動調光功能　6.寬・高度測量演算法的開發）

　　4)　測量畫面（選單畫面・測量畫面・結果顯示畫面）

WF-R60型　共焦點Telecomparator
非接觸・非破壞檢查的最新技術集合，高速・高精度的寬・高度測量裝置
■測量精度	・高度：3σ=20nm　・線寬測量：3σ=10nm （使用100×物鏡、標準試料）
■測量速度	1s／1視野（Z軸範圍：2μm、Frame取得解析度：16.6nm）
■測量視野	・5倍：760×720μm ・10倍：380×360μm ・20倍：190×180μm ・50倍：76×72μm ・100倍：38×36μm


	■各焦點位置的影像
	將Ｚ軸由Ａ⇒Ｅ移動時，各焦點位置的影像如左圖所示。焦點對準鉻表面的Ｂ位置時鉻表面最亮。光阻表面亦同，在焦點位於Ｄ時最亮。亮度根據各表面的反射律不同有所變化。最後可取得所有畫素的亮度最高值更新後的全焦點影像(上圖)與各畫素所對應的焦點位置資料。


	1　共焦點方式（共焦點掃瞄器） 2　高速攝影機 3　高速數位會面處理卡 4　高精度Z軸機構（微動Z軸） 5　自動調光功能（金屬燈泡光源光源） 6　寬・高度測量演算法的開發（控制用電腦）

■　1　共焦點方式
使用附有微鏡片的共焦點元件，可取得比過去的共焦點方式裝置要更亮的影像，即使在高倍率之下亦可確保足夠的亮度進行測量	由横河電気株式会社CSU10目錄節錄

■　2　高速攝影機

高速影格速率CCD攝影機（120fps）與高速影像處理卡的組合，實現高速測量處理。
影像處理卡可高速處理測量用的亮度資料與Ｚ軸資料。

■　3　高速影像處理卡

■　4　高精度Ｚ軸機構

由真直度精度高，具高解析度的Ｚ軸驅動，實現高精度的穩定測量。

■　5　自動調光功能
採用440nm（g線）或550nm（e線）<可選擇>，以自動調光實現更穩定的測量光源調光與攝影機Gain併用進行自動調光

■　6　寬・高度測量演算法的開發

根據新測量演算法的開發，水平・垂直線寬與高度測量一併測量
　・高度測量 3σ = 20nm
　・線寬測量 3σ = 10nm