非接觸三次元測量裝置
　由加工至成像性能的綜合評估裝置
NH-3N 兼具優良性能與高性價比的NH系列標準系統
　可以μm單位測量60°以上的傾斜面的接合測量技術
NH-3SP 極限測量精度、解析度的高精度版
NH-4N 適用於8吋晶圓、Lead Flame等高密度、大型化的半導體產品的品質管理
NH-5N 以門型構造對精密模具等，實現大型重量物的高精度測量
NH-6N 液晶顯示器的Pattern，大型非球面鏡面等直接測量

　　三鷹光器(株)／(株)菱光社
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本裝置以雷射探針方式，實現對於形状・尺寸・表面粗度等的完全非接度、高精度、自動測量的系統，對將來要求更小型・高精度・低成本的光學或半導體產品，可廣泛對應超精密加工零件等的開發部門至生産線的品質管理等多範圍測量機。
　特徴
□ 發售以來４年，將非接觸高度測量的代名詞NH-３的高精度機種NH-３SP的功能回饋，成為新機種NH-３N登場
□ 請感受不受低反射率影響的Auto Focus・完全非破壞測量・追求Z以及XY精度究極的非接觸的世界

　規格・測量功能
■ 規格
 
高度最小解析度 0.01μm
高度絕對精度 ±1μm/10mm
高度重現性 σ=0.03μm以内
高度測量範圍 10mm(～100mm)
XY最小解析度 0.1μm
XY絕對精度=±(1+5L/150)μm
XY測量範圍=150×150mm～
控制軟體OS WindowsNT4.0


■ 測量功能
  三次元形狀測量・段面形狀測量・粗度測量・自動測量・各種測量功能


 

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